金属钨化学机械研磨清洗缺陷研究及解决方法_科技_网
2017年10月(yue)14日-雷(上(shang)海(hai)华虹(hong)宏(hong)力半导体制造有限(xian)公司,上(shang)海(hai) 摘要:通(tong)过研究金属钨化学(xue)机械(xie)研磨(mo)(W CMP)后清(qing)洗(xi)的一种(zhong)水痕(hen)状(zhuang)的缺陷(Water mark like defect),...
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【】一种减少钨化学机械研磨微刮痕的工艺_
明卿-2006-被引量:1[####]一种减少钨化学机械研磨微刮痕的工艺,提供一半导体基底,其制作钨插塞的主要步骤有光阻涂布、微影,蚀刻,用W CVD方法沉积钨金属,用W CMP工艺磨去表面的钨金属,完成钨插塞的...[/####] 金属钨化学机械研磨清洗缺陷研究及解决方法_
雷-《集成电路应用》-2017[####]通过研究金属钨化学机械研磨(W CMP)后清洗的一种水痕状的缺陷(Water mark like defect),经过一系列的实验,我们发现这种缺陷产生的原因是具有钨插塞(W Plug)结构的晶片...[/####] 金属钨化学机械研磨清洗缺陷研究及解决方法-集成电路应用2017年08...
金属钨(wu)化学(xue)机械(xie)研(yan)磨清洗缺(que)陷(xian)(xian)研(yan)究(jiu)及(ji)解决方法,集成电路制造,水痕,化学(xue)机械(xie)研(yan)磨,缺(que)陷(xian)(xian)。通过(guo)研(yan)究(jiu)金属钨(wu)化学(xue)机械(xie)研(yan)磨(W CMP)后清洗的一种水痕状的缺(que)陷(xian)(xian)(Water mark like...
氮气中球磨钨和钼的结构和热性能:研磨时间和气氛的..._
Calka,陈安庆-《钨钼材料》-1996[####]氮气中球磨钨和钼的结构和热性能:研磨时间和气氛的影响 机械合金化氮气气氛钨钼球磨金属氮化物摘要: 钨和钼的氮化物是很少研究的过渡金属氮化物。r-Mo2N,δ-MoN,...[/####] 苏州东金机械金属有限公司
回到顶(ding)部 钨(wu)棒(bang)研(yan)磨机(ji) 钨(wu)棒(bang)研(yan)磨2 (DGP-PG)...几乎为0,也不(bu)够其他机(ji)械设备的干扰(rao)。 ●从电(dian)缆...
氮气中球磨钨和钼的结构和热性能:研磨时间和气氛的..._
Calka,陈安庆-《钨钼材料》-1996[####]氮气中球磨钨和钼的结构和热性能:研磨时间和气氛的影响 机械合金化氮气气氛钨钼球磨金属氮化物摘要: 钨和钼的氮化物是很少研究的过渡金属氮化物。r-Mo2N,δ-MoN,...[/####] 苏州东金机械金属有限公司
回到(dao)顶部 钨(wu)棒研(yan)(yan)磨(mo)机(ji) 钨(wu)棒研(yan)(yan)磨(mo)2 (DGP-PG)...几(ji)乎为0,也(ye)不够其他机(ji)械设备的(de)干扰(rao)。 ●从电(dian)缆...
【乐高直销Y3丝攻 钨钢螺旋丝锥研磨机 工具 磨床磨刀..._阿土伯
2017年(nian)12月7日-台州林(lin)隆贸易有限公司提供【乐高直销Y3丝攻 钨钢螺旋(xuan)丝锥研磨机 工具 磨床磨刀机 刃磨机】LG-Y3,型号...
【钨针磨尖机】、钨针磨尖机专题-中国供应商
辰骄机(ji)(ji)械供应(ying)全自动钨(wu)针磨尖机(ji)(ji),钢丝磨针机(ji)(ji),规格全价格低(di) ¥8000.00 河(he)北 ...TIG-SHARP钨(wu)针磨削机(ji)(ji) ¥3500.00 上海 TIG SHARP 钨(wu)极磨尖机(ji)(ji) 钨(wu)针研磨机(ji)(ji) ...
钨的二次资源及其开发前景 -
2014年8月7日-按目前中(zhong)国(guo)商品粗钨丝和(he)钨杆的年产量为很多研究(jiu)工作(zuo)...成 ; < 机械破(po)碎(sui)(sui)法 $ 机械破(po)碎(sui)(sui)法是一种为简单...而 物经(jing)研磨(mo)和(he)筛(shai)分(fen)后(hou),在(zai)管状炉中(zhong)在(zai) :"" , $ ...
【】钨化学机械研磨方法_
邓永平-2009[####]一种钨化学机械研磨方法,包括:提供具有介电层的半导体结构,在所述介电层中具有开口,在所述开口中和介电层上依次具有金属阻挡层和钨金属层;执行阶段化学机械研磨,去除...[/####] 单晶金刚石机械研磨与化学机械抛光工艺-纳米技术与精密工程2015年...
2015年(nian)3月15日-单晶(jing)金(jin)刚(gang)石(shi)机械研(yan)磨与化学机械抛光(guang)工艺,单晶(jing)金(jin)刚(gang)石(shi);;机械研(yan)磨;;化学机械抛光(guang),单晶(jing)金(jin)刚(gang)石(shi)在工业、国防(fang)等领域的(de)应用日益(yi)广泛,对其加(jia)工表面(mian)质量的(de)要(yao)求不...
机械配件_钨钢抛光/抛光加工/机械配件研磨加工 -
钨钢镜面(mian)抛光(guang)加工(gong)/模具抛光(guang)加工(gong)/机械配(pei)件研磨加工(gong),表面(mian)处理,这里云集(ji)了众多(duo)的供应商(shang)(shang),采购商(shang)(shang),制造商(shang)(shang)。...
供应钨钢刀片研磨机
供(gong)应(ying)钨钢(gang)刀(dao)片(pian)研磨(mo)机,八方资(zi)源网云集了(le)众(zhong)多的(de)供(gong)应(ying)商,采购商,制造商。这是(shi)供(gong)应(ying) 供(gong)应(ying)钨钢(gang)刀(dao)片(pian)研磨(mo)机 的(de)详细(xi)页面。 品(pin)牌(pai) SY薪鐿 型号 SR-260 形式 电(dian)动(dong) 电(dian)源电(dian)压 ...
金属钨化学机械研磨清洗缺陷研究及解决方法 -
2017年8月29日-集成电路应用第34卷(juan)第8期(qi)(总第87期(qi))017年8月59ProcessandFabrication工艺与制造金(jin)属(shu)钨化(hua)学(xue)机械研(yan)磨清洗缺陷研(yan)究及解决方法摘要:通过研(yan)究金(jin)属(shu)钨化(hua)学(xue)机...
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【日本松本机械MAC 钨机研磨机 TA-60XW 日本原装进口】..._马可波罗
马可波罗网(wang)(makepolo.com)提(ti)供南(nan)京(jing)地(di)平线(xian)工贸实业(ye)有限(xian)公(gong)司-销售部相(xiang)关企业(ye)介绍及产(chan)品信息主要以日本松本机械MAC 钨机研磨机 TA-60XW 日本原装进(jin)口为主,还(hai)包(bao)括了(le)...
钨钢研磨设备厂家_钨钢研磨设备厂家/公司/钨钢研磨设备..._
深(shen)圳(zhen)市精诚(cheng)信五金机械有(you)限公(gong)司 经营(ying)模(mo)式 : 生产加工...主(zhu)营(ying)产品 : 硬质合金制品;高比重钨合金;钨粉系列;...回转工作台;立卧分度(du)盘;铣刀(dao)研磨(mo)(mo)机;车(che)刀(dao)研磨(mo)(mo)机;...
超大规模集成电路中钨插塞的化学机械抛光机理_
刘杰-天津大学-2012[####]钨插塞化学机械抛光CMP在半导体集成电路中是非常重要工艺,化学机械研磨同样是一个新型的工艺,在半导体生产的过程中起着举足轻重的作用,集成电路的前缘技术是在低k...[/####] 化学机械研磨_手机互动百科
研(yan)(yan)(yan)(yan)(yan)磨(mo)(mo)(mo)(mo)制程(cheng)根据研(yan)(yan)(yan)(yan)(yan)磨(mo)(mo)(mo)(mo)对象不同主要分为(wei):硅研(yan)(yan)(yan)(yan)(yan)磨(mo)(mo)(mo)(mo)(Poly CMP)、硅氧化物研(yan)(yan)(yan)(yan)(yan)磨(mo)(mo)(mo)(mo)(Oxide CMP)、钨研(yan)(yan)(yan)(yan)(yan)磨(mo)(mo)(mo)(mo)(W CMP)和铜(tong)研(yan)(yan)(yan)(yan)(yan)磨(mo)(mo)(mo)(mo)(Cu CMP)。 三(san) 研(yan)(yan)(yan)(yan)(yan)磨(mo)(mo)(mo)(mo)耗材(cai) 研(yan)(yan)(yan)(yan)(yan)磨(mo)(mo)(mo)(mo)耗材(cai)分为(wei)以下几大类(lei)...
东莞钨钢研磨配件加工厂 精密机械加工-五金-六安新闻网
6天前-东莞钨钢研磨(mo)配件(jian)(jian)加工(gong)厂浅谈(tan)非标(biao)设(she)(she)(she)备(bei)设(she)(she)(she)计制造要点 非标(biao)设(she)(she)(she)备(bei)设(she)(she)(she)...... 东莞钨钢研磨(mo)配件(jian)(jian)加工(gong)厂浅谈(tan)非标(biao)设(she)(she)(she)备(bei)设(she)(she)(she)计...甚有对应不同(tong)加工(gong)工(gong)艺都(dou)标(biao)准机(ji)械机(ji)构或(huo)者...
东莞钨钢研磨配件加工厂 精密机械加工-五金-六安新闻网
6天前-东(dong)莞(guan)(guan)钨(wu)钢研(yan)磨配件加(jia)(jia)工厂浅(qian)谈非标设(she)备(bei)设(she)计制造要(yao)点(dian) 非标设(she)备(bei)设(she)...... 东(dong)莞(guan)(guan)钨(wu)钢研(yan)磨配件加(jia)(jia)工厂浅(qian)谈非标设(she)备(bei)设(she)计...甚(shen)有对(dui)应不(bu)同加(jia)(jia)工工艺都标准机械机构或者...
粉体工业中常用的破碎工艺与破碎机械
工(gong)作(zuo)原理:被破(po)碎(sui)的(de)物(wu)料,在两个相对转动的(de)圆辊夹缝中(zhong)...(如(ru)钨、锡矿(kuang)石(shi))和处理黏(nian)性含(han)泥物(wu)料的(de)中(zhong)小型选矿(kuang)厂...上继续受到(dao)锤子的(de)打击和研磨(mo),直(zhi)到(dao)破(po)碎(sui)所需(xu)出料...
金属钨化学机械研磨清洗缺陷研究及解决方法_论文_
2018年5月13日-金属钨(wu)(wu)化(hua)学机械(xie)研(yan)(yan)磨清洗(xi)(xi)缺(que)陷研(yan)(yan)究及解(jie)决方(fang)(fang)法 - Process and Fabrication 工艺与(yu)制造 金属钨(wu)(wu)化(hua)学机械(xie)研(yan)(yan)磨清洗(xi)(xi)缺(que)陷研(yan)(yan)究 及解(jie)决方(fang)(fang)法 雷(lei) (上(shang)海华虹(hong)宏力半...
