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化学机械研磨工艺中的铜腐蚀研究_图文_
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白英英,张守龙,徐友峰-2013[####]本发明一种提高铜机械研磨效率的装置,其中,包括以下工艺步骤:形成层介电层,在层介电层上表面沉积刻蚀阻挡层,在刻蚀阻挡层上沉积层介电层;在层介电层上生...[/####] 内径研磨机价格_厂家直销价格优惠-昆山詹允精密机械
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