【】化学机械研磨方法 Chemical mechanical polis..._
邓武锋-CN-2010[####]本发明提供了一种化学机械研磨方法,用于研磨填充有金属的沟槽结构;所述化学机械研磨方法包括在研磨台上进行主研磨和在研磨台上研磨去除沟槽上方剩余的金属的步骤...[/####] 【】化学机械研磨用水系分散体及半导体装置的化学..._
安藤民智明,金野智久-2009[####]本发明提供一种化学机械研磨用水系分散体,其pH为4～5,用于同时对由选自多晶硅膜、氮化硅膜及氧化硅膜中的2种以上形成的被研进行研磨,其含有:0.1～4质量%的(A)具有10n...[/####] 太原实验室研磨机-机械-六安新闻网
7天前-生产、销售为一体的专业化、现代化的机械公司。...石油化工、乳品、化妆品、农药、有机硅等众多...砂磨机设计原理砂磨机,采用偏心盘研磨结构,并按...
硅石研磨机械工作原理
硅石磨_郑州义龙矿山机械有限公司-必途 b2b.cn 2 陶瓷、硅石、橡胶、金属(配套动力依据采用衬板材质和研磨物料的不同会有所差异) 硅石磨的工作原理 电机通过减速...
硅衬底的化学机械抛光工艺研究_
谭刚,吴嘉丽-《仪器仪表学报》-2005-被引量:13[####]液进行比较后提出了参与机械研磨的有效粒子数才是机械抛光过程的重要因素,而不是...谭刚 吴嘉丽.硅衬底的化学机械抛光工艺研究[J][J].仪器仪表学报,2005,26(8...[/####] 硅片研磨和研磨液作用的分析 -
2016年2月1日-随着半导体工业 50 nm。 硅衬底片的研磨是保证衬底...这些机械损伤若残留在硅 要包括: 有机碱、表面活性...原理和改进方向3 作用下微裂缝不但无法愈合...
软金属润滑纳米体研磨制备方法研究-中国机械工程2007年09期-手机...
采用行星式球磨机和湿式研磨法,以铅为对象探讨了制备软金属纳米粒子体的工艺方法...[文献类型]:期刊 [文献出处]:《中国机械工程2007年09期 》 文章...
硅片加工表面抛光_机械/仪表_工程科技_专业资料
评分:5/5102页[/####]2015年4月7日-硅片抛光的意义硅加工中,多线切割、研磨等加工过程...2) 化学机械抛光的基本原理 ? 3) 化学机械抛光的...抛光液的纯度——金属含量(Cu,Al,Fe) ? 2)抛...
切割/研磨设备 生产商 - 硅棒/硅锭生产设备 | 企业名录 | 易恩孚...
石家庄威锋机械制造有限公司 中国大陆 硅棒切割设备 无锡开源太阳能设备科技有限公司 中国大陆 硅棒切割设备,硅棒研磨设备 无锡上机数控股份有限公司 中国大陆 硅棒...
工业硅研磨机械工作原理_相关论文(共69篇)_
被引:1超声椭圆振动复合化学机械研磨硅片运动轨迹仿真研究?组合机床与自动...被引:7粉磨工艺及设备(职业技术教育国家规划教材)武汉理工大出版社被引:27粉煤灰机械研磨中物理与机械力化学现象的研究《南京工业大学》查看更多相关论文>> 粉碎机械_水泥磨机 超微粉碎能达到几目 工业硅研磨机械 -
水泥磨机 超微粉碎能达到几目 工业硅研磨机械...重量 400(kg) 粉碎程度 超细磨机 原理 超声波粉碎...
新闻:苏州(磁力研磨机工作原理)有限公司欢迎您 - 苏州电动工具 - ...
19小时前-()机械有限公司CEOUweRondé博士、巨浪(太仓)...石墨烯的发现为人类开启了从“硅时代”迈向“碳...(磁力研磨机工作原理)有限公司欢迎您感兴趣,请...
ULSI硅衬底化学机械研磨技术研究_
周建伟,刘玉岭,张伟-《半导体学报》-2007[####]通过对传统硅片研磨加工工艺过程中的问题进行深入研究和分析,总 结了影响硅片表面质量的主要影响因素,提出了将化学机械平整化技术应用到ULSI硅衬底研磨加工的新方法,...[/####] 【】化学机械研磨方法和装置_
杨涛-CN[####]本发明公开了一种化学机械研磨方法,包括:确定硅片上待研磨的材料以及各材料的研磨顺序,根据确定结果选择滚卷,所述滚卷上按研磨顺序依次设置有用于研磨不同材料的研磨垫;...[/####] 机械研磨制备硅灰石-SiO2复合颗粒及其表征_
崔嵬,任天宇,陈婉婷-《非金属矿》-2016-被引量:1[####]采用机械研磨法,通过白炭黑湿法研磨解聚和硅灰石-白炭黑共混研磨手段制备硅灰石-无定形SiO2复合颗粒,对复合过程各因素进行了优化,对硅灰石-SiO2复合颗粒的结构进行了...[/####] 明矾石研磨机械工艺流程
破碎机械设备明矾石研磨机械工艺流程明矾石研磨机械工艺流程矿业工业旅游项目选址...磨煤机石子煤钙粉生产工艺明矾石研磨机械工作原理价格。(Hc.com)供应商上海...
机械设计制造工艺及加工技术研究
机械设计制造是工业部门中的支柱性产业,对经济发展速度...利用流动的磷硅玻璃填平表面,之后在沉积的钝化层与...3.1精密研磨技术。精密研磨技术主要通过精密研磨的工艺...
【工业硅设备价格,针状硅灰石粉碎机械厂家】- 网
2017年7月18日-江苏奇新金属硅深加工机械设备有限公司发明设计的DCS金属硅粉生产线研磨系统设备通过...工业硅粉碎机械工作原理新闻重工科技这些破碎的机械性能各...
化学机械研磨_手机互动百科
研磨制程根据研磨对象不同主要分为:硅研磨(Poly CMP)、硅氧化物研磨(Oxide CMP)、钨研磨(W CMP)和铜研磨(Cu CMP)。 三 研磨耗材 研磨耗材分为以下几大类...
化学机械抛光的步骤|自动抛光机
依据机械加工原理、半导体材料工程学、物力化学多相...XPJ研磨抛光机、XPJ不锈钢抛光机、XPJ去毛刺抛光机、...银 铱 特殊/稀有贵金属/半金属 钌 铑 金 硅 锇...
【硅灰雷蒙磨,生石灰研磨机械工作原理】-网
2016年11月23日-金属硅、电解猛、碲锑合金、炭化硅、金钢砂、冶炼矿、钙镁矿、 煤炭、活性炭...上海昌磊机械成套设备有限公司为你提供的“硅灰雷蒙磨,生石灰研磨机械...
【技术】机械研磨方法制备硅灰石-TiO2复合颜料工艺研究!_搜..._
2017年7月7日-存在的资源、环境与成本价格等问题的有效措施,同时还有利于非金属矿物资源...采用液相机械力研磨方式,通过硅灰石与TiO2湿法共混研磨手段实现TiO2颗粒...
机械式油雾收集器工作原理 -【广州市绿益康环保科技有限公司】
2018年7月26日-机械式油雾收集器工作原理 吸附到油雾杂质。油...镜片研磨机、压铸机等)发电厂.锻压工厂.轴承厂...平舆AEPS硅质聚合物聚苯板生产线设备尺寸可以定做...
硅石砂研磨机械工艺流程
硅石球磨机:郑州义龙矿山机械有限公司的硅石球磨机是 机械及行业设备> 矿业输送设备...工业硅磨粉厂 硅砂研磨机械价格 硅石砂磨粉机械工作原理 硅石砂磨粉机械多少钱一...
CMSD2000-新型负极材料硅碳复合材料研磨分散机,电池负极材料分散...
2017年4月26日-新型负极材料硅碳复合材料研磨分散机,电池负极材料分散机立式分体结构,精密的零部件配合运转平稳,运行噪音在73DB以下。同时采用德国博格曼双端面机械...
化学机械研磨对硅片表面微粗糙度的影响 -
2016年5月20日-主要工作与创新 59 5.2 后续研究工作 60 65攻读...机械研磨示意图(SMIC 培训资料) 图2-3氧化硅研磨...(ILD—Inter Level Dielectric)和各种金属薄膜层...
工业硅粉碎机械工作原理
工业硅研磨机械工作原理-粉碎机械知识价格工业硅研磨机械工作原理工业硅研磨机械工作原理研磨机机械原理发布时间标签研磨机特点与用途采购百科导读研磨机采用无级调速系...
