【】钨化学机械研磨方法_
邓永平-2009[####]一种钨化学机械研磨方法,包括:提供具有介电层的半导体结构,在所述介电层中具有开口,在所述开口中和介电层上依次具有金属阻挡层和钨金属层;执行阶段化学机械研磨,去除...[/####] 【】钨化学机械研磨方法及钨插塞的制造方法_
健 李,邓永平-2009-被引量:2[####]钨化学机械研磨方法及钨插塞的制造方法健李邓永平...[/####] 钨钢研磨设备厂家_钨钢研磨设备厂家/公司/钨钢研磨设备..._
为您找到(dao)354条关于钨钢(gang)(gang)研磨(mo)(mo)设(she)备(bei)生产商的工(gong)商注册年份、员(yuan)工(gong)人数、年营业(ye)(ye)额(e)、信(xin)用(yong)记(ji)录、主营产品(pin)(pin)、相关钨钢(gang)(gang)研磨(mo)(mo)设(she)备(bei)产品(pin)(pin)的供求(qiu)信(xin)息、交易记(ji)录等(deng)企业(ye)(ye)详情。您还...
研磨生产设备_
轻质碳酸钙研磨(mo)机械 滑石生产(chan)设备工艺流程 ￥50000.00 / 台 上海浦(pu)东新区 ...为您(nin)提供的(de)研磨(mo)生产(chan)设备供应商、经销(xiao)商、厂家,包(bao)括研磨(mo)生产(chan)设备的(de)参数...
内外墙干粉生产与配方,金矿提炼黄金的机器 - 集团新闻 - 破碎机...
1天前(qian)-制砂机械(xie)在黑白钨矿尾矿回(hui)收处(chu)理中(zhong)的(de)应用下(xia)一篇:...金属硅粉生产(chan)线(xian)工(gong)艺复杂(za),主(zhu)要工(gong)艺流程:金属硅原(yuan)料(liao)...地送(song)入主(zhu)机磨室进(jin)行研磨,粉磨后的(de)粉子被(bei)风(feng)机...
钨的二次资源及其开发前景 -
2014年8月(yue)7日-钨杆的(de)年产量 的(de)处理含钨废料选冶联合流程,经(jing)工业...成 ; < 机械破碎法(fa) $ 机械破碎法(fa)是一种(zhong)为简(jian)单...而(er) 物经(jing)研磨和筛(shai)分后,在管状炉中在 :"" , $ ...
面向纳米材料操控的钨针制备系统与工艺研究_
香凝-《华中科技大学》-2016[####]常用的制备方法有研磨法、剪切法、超高真空场离子...机理与关键工艺因素,确定了大长径比钨探针制备流程...化大长径比钨探针制备装置,包含机械位移装置,电控...[/####] 精品课程 IC原理 第1章 集成电路的基本制造工艺_甜梦文库
2012年9月(yue)17日-光刻是集成电路制(zhi)造过(guo)程中复杂 和关键的工艺之...利用LPCVD淀积钨(wu)来填(tian)充通孔。温度约 300℃。这(zhei)可(ke)以(yi)...化(hua)学(xue)机械(xie) 研抛(pao)光 技术化(hua)学(xue)机械(xie)研磨技术(化(hua)...
金属钨化学机械研磨清洗缺陷研究及解决方法_论文_
2018年5月13日(ri)-金属钨(wu)化学机械(xie)(xie)研(yan)磨(mo)清洗缺陷研(yan)究(jiu)及解决(jue)方法(fa) - Process and Fabrication 工艺(yi)与制(zhi)造(zao) 金属钨(wu)化学机械(xie)(xie)研(yan)磨(mo)清洗缺陷研(yan)究(jiu) 及解决(jue)方法(fa) 雷 (上海(hai)华虹(hong)宏力半...
单晶金刚石机械研磨与化学机械抛光工艺-纳米技术与精密工程2015年...
2015年3月15日(ri)-单(dan)晶金刚石机械研(yan)磨(mo)与化学机械抛光工(gong)(gong)艺,单(dan)晶金刚石;;机械研(yan)磨(mo);;化学机械抛光,单(dan)晶金刚石在工(gong)(gong)业、国(guo)防(fang)等领域(yu)的应用日(ri)益(yi)广泛,对(dui)其加(jia)工(gong)(gong)表面(mian)质量的要求不...
碳化钨研磨机 - 矿山机械百科
以及独特的进出料简洁流程,的节能降耗性能,理想...钨合金焊条用碳化钨过渡堆焊金属含钨,工艺精良脱渣...碳化钨研磨机 --- 矿山机械百科 src="/liebiaos/img/mf/869.jpg" />
金属钨化学机械研磨清洗缺陷研究及解决方法_科技_网
2017年10月14日(ri)-雷(上海(hai)华虹宏(hong)力半(ban)导(dao)体制(zhi)造(zao)有限公司,上海(hai) 摘要(yao):通过研究(jiu)金属钨化学机(ji)械研磨(W CMP)后清(qing)洗的一(yi)种水痕状的缺(que)陷(Water mark like defect),...
化学机械研磨工艺的优化方法
本(ben)发明公开了(le)一种化学机械(xie)研磨工(gong)艺(yi)的(de)优化方法,该(gai)方法...采用离(li)子(zi)束(shu)沉积工(gong)艺(yi)在(zai)SiN的(de)表面形成(cheng)金属钨(wu),然后(hou)按照(zhao)...满足工(gong)艺(yi)标准,则(ze)调(diao)整当(dang)前的(de)CMP工(gong)艺(yi)参数(shu),并执行步骤A...
混合研磨剂型的钨化学机械抛光组合物
化学机械抛(pao)(pao)光包括钨(wu)层的(de)基(ji)板(ban)(ban)的(de)方(fang)法,包括使该(gai)基(ji)板(ban)(ban)与上述抛(pao)(pao)光组(zu)合物接触,相(xiang)对于该(gai)基(ji)板(ban)(ban)移(yi)动该(gai)抛(pao)(pao)光组(zu)合物,及研磨该(gai)基(ji)板(ban)(ban)以(yi)从(cong)该(gai)基(ji)板(ban)(ban)移(yi)除一部分所述钨(wu)并从(cong)而(er)抛(pao)(pao)光该(gai)基(ji)板(ban)(ban)。...
机械金工实习报告
2014年(nian)12月8日-在钳工实训中(zhong),我了解了钳工的方(fang)要内容是为划线、錾(zan)削、锉削、研磨、钻孔、扩孔...1. 通过(guo)这(zhei)次(ci)实习(xi)我们了解了现代(dai)机械(xie)制造工业的生产(chan)方(fang)式和工艺过(guo)程(cheng)。...
钨电极研磨工艺的机械化_
苏晓鹰-《电焊机》-2004[####]前 言作为重复性好、高质量TIG焊的一个重要参数,电极加工的重要性常常被人们忽略。可以论证,熔焊重要的因素是熔敷的一致性。尽管焊道的几何形状和冶金 特性受很多因...[/####] 【】纳米级钨钴混合粉末的生产工艺_
金益民-CN-2005-被引量:5[####]本发明涉及一种制取纳米级钨钴混合粉末的工艺。它主要包括以下连续步骤:配制一定浓度的偏钨酸铵溶液,加入一定量的碳酸钴粉末,加热、搅拌,充分反应后,将所得复合盐溶液冷...[/####] 【】一种减少钨化学机械研磨微刮痕的工艺_
明卿-2006-被引量:1[####]一种减少钨化学机械研磨微刮痕的工艺,提供一半导体基底,其制作钨插塞的主要步骤有光阻涂布、微影,蚀刻,用W CVD方法沉积钨金属,用W CMP工艺磨去表面的钨金属,完成钨插塞的...[/####] 金属钨化学机械研磨清洗缺陷研究及解决方法_
雷-《集成电路应用》-2017[####]通过研究金属钨化学机械研磨(W CMP)后清洗的一种水痕状的缺陷(Water mark like defect),经过一系列的实验,我们发现这种缺陷产生的原因是具有钨插塞(W Plug)结构的晶片...[/####] 【】化学机械研磨方法 Chemical mechanical poli..._
江志琴-2013[####]本发明公开了一种化学机械研磨方法,用于研磨沟槽上方的金属,包括主研磨和研磨去除剩余金属的步骤,当沟槽上方金属厚度大于等于15千埃时,该方法包括:主研磨沟槽上方预定厚...[/####] 我国钨工业科技创新工作的主要课题
2采选 (1)全面提(ti)高机(ji)械化(hua)程度和(he)装(zhuang)备水平,广泛应用...(4)分解白钨矿工(gong)艺(yi)流程、设(she)备的(de)研究(jiu); (5)含钨催化(hua)...(包括(kuo)研磨、涂层和(he)其他(ta)后(hou)处理技术)及(ji)其设(she)备和(he)使用...
粉体工业中常用的破碎工艺与破碎机械
粉体(ti)工业中(zhong)(zhong)常用的破碎(sui)工艺(yi)与破碎(sui)机械粉体(ti)圈(quan) 2016-...(如钨、锡矿(kuang)石)和(he)处理黏性含泥(ni)物料(liao)的中(zhong)(zhong)小型选矿(kuang)厂...上(shang)继续(xu)受(shou)到锤子的打击和(he)研磨,直到破碎(sui)所需(xu)出(chu)料(liao)...
研磨机械_研磨机械【价格 图片】_淘宝网研磨机械_淘宝网
淘(tao)宝网为您找到927件(jian)研(yan)(yan)磨机(ji)械相关的(de)宝贝。... 研(yan)(yan)磨机(ji)械”商(shang)品 红丹粉(fen)工(gong)业机(ji)床刮研(yan)(yan)用研(yan)(yan)磨用红丹粉(fen)机(ji)械磨具(ju)用粉(fen)包(bao)邮0.25公斤(jin) ￥13.00 天上飞的(de)一只(zhi)鹅月(yue)销(xiao): 173 ...
《机械加工工艺规程设计 》(书+光盘)_林艳华 主编 _孔夫子旧书网
4生(sheng)产过(guo)程与组(zu)织8 1 4 1生(sheng)产过(guo)程和工艺过(guo)程8 1 4 2生(sheng)产类型8 1 4 3组(zu)织... 钨化学机械研磨方法(fa)及钨插塞(sai)的制造方法(fa) 232. 由滚(gun)轧的...
半导体制程培训cmp和蚀刻pptx -
化(hua)学机械平坦化(hua) (Chemical‐Mechanical Planarization, CMP) ,又称(cheng)化(hua)学机械研磨(...氧化(hua)物磨料金(jin)属钨磨料金(jin)属铜磨料特殊应用(yong)磨料 半导体(ti)制(zhi)造工艺(yi)流程氧化(hua)硅抛光氧化(hua)硅...
【】研磨液配制方法、研磨液以及金属钨的cmp方法_
彭澎,潘继岗-2011[####]本发明公开了一种配制研磨液的方法,将成品研磨液W2000与水按照重量比1∶21∶4范围内的任意比例混合,并向混合物中添加浓度为31%的过氧化氢水溶液,使得终过氧化氢的质...[/####] 金属钨化学机械研磨清洗缺陷研究及解决方法-集成电路应用2017年08...
金(jin)属钨(wu)化学(xue)机(ji)械研(yan)磨清(qing)洗缺(que)陷研(yan)究及解决方(fang)法,集成电路制造,水(shui)痕,化学(xue)机(ji)械研(yan)磨,缺(que)陷。通(tong)过研(yan)究金(jin)属钨(wu)化学(xue)机(ji)械研(yan)磨(W CMP)后清(qing)洗的一种水(shui)痕状(zhuang)的缺(que)陷(Water mark like...
04-机械加工工艺.pdf 全文-能源/化工-文档在线
2015年(nian)3月12日-研磨过程中金属(shu)塑性变形(xing)小(xiao),切削(xue)力小(xiao)、切削(xue)热少,表 变形(xing)层薄(bo), 切削(xue)运(yun)动复杂(za),...· 机(ji)械制造(zao)基(ji)础 (下册)——机(ji)械加(jia)工(gong)(gong)工(gong)(gong)艺基(ji)础 胀开,以(yi)便调整珩磨头的工(gong)(gong)...
【】一种层状增韧钨及其制备方法_
索进平,张颖,刘大为-2015[####]本发明公开了一种层状增韧钨及其制备方法,属于结构材料领域。层状增韧钨包括相互交替层叠的钨层和增韧层,增韧层包括金属钽片。制备该层状增韧钨的方法包括:S1将钨粉在惰...[/####] 钨钢研磨设备厂家_钨钢研磨设备厂家/公司/钨钢研磨设备..._
为(wei)您找(zhao)到357条关(guan)于钨钢(gang)研磨设备生产商的工商注册年(nian)份、员工人数、年(nian)营业(ye)额、信用(yong)记录(lu)(lu)、主营产品、相(xiang)关(guan)钨钢(gang)研磨设备产品的供求(qiu)信息、交易记录(lu)(lu)等企(qi)业(ye)详情。您还...
