我有一个铜件,平面度要求极高、粗糙度小于0.02,请教合理的研磨...
9条回复-发帖时间:2013年3月12日2013年3月12日-我有一个铜件,平面度要求极高、粗糙度小于0.02,光镜检测需达到9条光带以上,之前我尝试过许多方法:先在铸铁研磨平台上配以W2.5研磨膏进行研磨,然后再用...
【】化学机械研磨的流程与基底上铜层氧化物研磨制程_
洪伟伦,庄佳哲,钟基伟-2005-被引量:9[####]化学机械研磨的流程与基底上铜层氧化物研磨制程洪伟伦庄佳哲钟基伟邱文智陈盈和章勋明CNA * Jun 18, 2004 May 25, 2005 积体电路制造股份有限公司 ...[/####] 表面机械研磨处理纯铜的表面纳米化_
科,刘刚,许并社-全国纳米材料和技术应用会议-2003-被引量:6[####]选取具有中等层错能的纯铜,进行表面机械研磨处理(SMAT),获得表面为纳米晶、晶粒尺寸随深度而增大的梯度组织。利用透射电镜对处理样品的横截面组织进行观测,研究表面纳...[/####] 机械研磨(冲击)电镀铜镀层的制备及耐蚀性研究_
李晔-《东北石油大学》-2016[####]机械研磨(冲击)电镀是在电镀时,能实时地对镀件镀层表面施加机械研磨(冲击)作用的一种电镀工艺。机械研磨(冲击)电镀的实现方式是机械研磨(冲击)电镀装置带动含有玻璃球...[/####] 【】化学机械研磨的流程与基底上铜层氧化物研磨制程_
庄佳哲,洪伟伦,章勋明-2009[####]化学机械研磨的流程与基底上铜层氧化物研磨制程庄佳哲洪伟伦章勋明邱文智钟基伟陈盈和...[/####] 不同实验参数下表面机械研磨对纯铜组织及力学性能的..._
杨新诚-《昆明理工大学》-2015[####]近年来,大塑形变形技术被广泛的研究与应用在各种金属合金中,这项技术能显著提高材料的强度,然而经过大塑形变形的金属一般都有塑性较差的缺陷。本课题利用表面机械研磨...[/####] 降低铜制程化学机械研磨的缺陷与研浆残留的方法
一种降低铜制程化学机械研磨的缺陷与研浆残留的方法。此方法包含,利用研浆进行晶片研磨,再利用去离子水研磨及清洗晶片的表面,再将晶片升起,以去离子水由下向上的...
【磁力研磨机工作原理研磨后(不留死角)】-黄埭易登网
2018年7月12日-磁力研磨机工作原理 苏州诺虎磁力抛光机(即磁力研磨机、磁力光饰机、磁力去毛刺机)是利用超强的电磁力,产生涡流,带动并传导细小的研磨不锈钢针,不锈钢...
纯铜表面机械研磨辅助合金化的研究_
磊-太原理工大学-2013[####]铜是常见的工程材料之一,因其具有良好的力学、电学等性能,被广泛应用于各个领域。 但是,纯铜材料本身的硬度强度较差,在一些特殊领域很难被进一步利用。铜镍合金、铜...[/####] 纯铜在表面机械研磨辅助下形成铝合金层的研究_
磊,侯利锋,卫英慧-《热加工工艺》-2013-被引量:1[####]以纯铜为研究对象,通过添加铝粉进行不同时间表面机械研磨(SMAT)处理。用金相显微镜、X射线衍射分析仪和扫描电镜对处理后样品的组织结构及成分变化进行分析。采用X射线...[/####] 【】一种铜化学机械研磨方法及设备_
邓武锋-2012[####]本发明提供一种铜化学机械研磨方法及设备,其在现有技术的基础上增加了研磨步骤,通过采用铜选择比高的研磨液对介质层开口之上的铜残留层进行研磨,可完全去除开口之上的铜...[/####] 表面机械研磨处理纯铜的SEM-ECC结构表征及力学性能..._
邢长海--2004[####]表面机械研磨处理扫描电子通道技术变形机制结构稳定性铜力学性能纳米晶中国科学院机构知识库(中国科学院机构知识库网格(CAS IR GRID))以发展机构知识能力和知识管理...[/####] RTPC在铜化学机械研磨工艺中的应用_
徐颖-《集成电路应用》-2009[####]正在铜CMP工艺中,为了去除多余的铜金属而形成嵌入式铜互联结构,分别应用电磁和光学信号于和阶段的研磨终点控制。工艺如图1所示。[/####] 表面机械研磨处理对Cu-Ti合金组织及性能的影响
盐水淬火,之后分别进行45min和60min表面机械研磨处理,对其显微组织、结构、硬度、腐蚀性能、摩擦磨损性能等进行相关测试表征,探讨铜钛合金表面纳米化机理以及性能的变化...
研磨与抛光 -
2017年9月23日-1. 研磨的基本原理 1)物理作用 研磨时,研具的研磨...加工质量靠机械设备保证,工作效率比较高。但只能适用...如铜、黄铜、青铜、锡、铝、铅锡金等,材质...
铜件研磨设备_铜件研磨设备价格_优质铜件研磨设备批发/..._
为您找到307条铜件研磨设备产品的详细参数,实时报价,价格行情,优质批发/供应等信息。您还可以找环保...
关于锥孔铜套研磨的工艺试验
关于锥孔铜套研磨的工艺试验 研磨剂光洁度外圆磨床工件表面研磨工具酚醛树脂动...胡克庭罗广鸣徐弘《机械制造》...
小铜件机加工后去毛刺抛光
铜精加工件去毛刺 铜车加工件抛光机 小铜件去毛刺...宁波悦恩机械专业提供磁力抛光机,磁力研磨机,精密去...二、设备工作原理: 中创磁力研磨抛光机是巧妙应用...
铜棍抛光研磨机机材料及用途-机械
2017年10月29日-锈钢管抛光机 不锈钢管抛光机,专业针对粗糙的不锈钢管外圆祛粗皮、氧化层、油污、刮伤痕等打磨或镜面抛光、拉丝等处理。全自动输送式进料,从粗磨到...
一种机械滚动研磨酸性电镀铜的方法
本发明公开了一种机械滚动研磨酸性电镀铜的方法,其内容是采用机械研磨电镀铜装置,电源,基材,珠子以及阳极板进行机械研磨酸性镀铜。采用机械研磨酸性镀铜装置通过改变不...
机械研磨酸性镀铜工艺与性能研究
硫酸盐酸性镀铜工艺由于具有工艺简单、操作方便、成本低等特点而广泛应用于生产中,但该铜镀层具有晶粒尺寸大、孔隙率高等缺点。为了提高镀铜层的性能,近年来,机械研磨...
长沙定子斩铜机的工作原理-商虎资讯
2018年4月7日-长沙定子斩铜机的工作原理,2.可以适应不同大小的电机定子的铜线拆解:液压拉铜机可拔出铜线的电机定子范围:一般的可永爱拆解80—250机座的各种单相或三...
铜腐蚀抑制剂对铜保护机制在化学机械研磨之研究
铜腐蚀抑制剂对铜保护机制在化学机械研磨之研究半导体制程在技术节点进入0.18m后,内连结金属以铝材改为铜材,而多层金属内连节隔离层也改为低介电材料,化学...
矿石磨粉设备,制粉机,研磨机械,一次成粉,雷蒙磨生产厂家
马可波罗网(makepolo.com)提供河南高峰重工机械有限公司相关公司介绍及以矿石磨粉设备,制粉机,研磨机械,一次成粉,雷蒙磨生产厂家为主的诸多产品价格,批发,供应,电话...
铜表面化学机械研磨平坦化方法
公开了一种铜表面的化学机械研磨平坦化方法,包括:在所述铜表面沉积介质层的步骤和对表面具有所述介质层的铜表面进行研磨的步骤。本发明的铜表面的化学机械研磨平坦...
【】铜化学机械研磨的方法_
李福洪,贾丽丽-CN-2009[####]一种铜化学机械研磨的方法,用于平坦化半导体基底上的铜金属层,包括,执行阶段的研磨去除半导体基底上的铜金属层;执行阶段的研磨,移除所述铜金属层下的阻挡层;该第...[/####] 【精密铜零件研磨去毛刺抛光机】价格_厂家_图片 -Hc
工作原理:磁力抛光机 电源类型:交流电源 电源电压:220V 额定输入功率:5000(... 精密五金去毛刺磁力抛光研磨机械厂 精密铜零件研磨去毛刺抛光机 ...
RTPC在铜化学机械研磨工艺中的应用 -
2011年1月8日-4856基础知识HOWTOMAKEACHIPRTPC在铜化学机械研磨工艺中的应用徐颖应用材料(中国)公司在铜CMP工艺中,为了去除多余的铜金属而形成嵌入式铜互联结构,分...
槽式抛光研磨机的结构组成-机械
2018年7月25日-的槽式抛光研磨机是通过振动电机做激振源,使工作筒体产生三元振动的工作原理。...3.振动槽式抛光研磨机适用于铝、铜、铝合金、铁、白铁、锌、镁合金等...
化学机械研磨工艺中的铜腐蚀研究_图文_
评分:3.5/556页[/####]2013年6月8日-化学机械研磨工艺中的铜腐蚀研究 - 目 录 摘 要………1言………3酉………...
去毛刺研磨机原理
7天前-磁力研磨抛光设备 成功案例 首饰制品磁力抛光机 铜件抛光效果图2 全自动去...1.广泛用于航空、医疗机械、手机配件.军事工业、汽车、纺织、光电、...
